Ölçüm cihazlarının temel teknik özellikleri arasında doğruluk, hassasiyet ve tepki süresi yer alır. Doğruluk, cihazın ölçüm sonucu ile ölçülen miktarın gerçek değeri arasındaki uyumun derecesini gösterir. Cihaz doğruluğu genellikle Sınıf 0,1, 0,2, 0,5, 1,0 veya 1,5 gibi doğruluk sınıfları- aracılığıyla ifade edilir; örneğin, Sınıf 0,1 cihazın ±%1,0'ı aşmayan toplam hatası vardır. Daha düşük bir doğruluk sınıfı numarası, daha küçük sistematik ve rastgele hataları gösterir, bu da daha yüksek hassasiyet anlamına gelir.
Hassasiyet, cihazın belirtilen değerindeki değişimin, ölçülen miktardaki karşılık gelen küçük artışa oranı olarak tanımlanır; cihazın ölçülebilir en küçük değişikliği tespit etme yeteneğini yansıtır. Tepki süresi, bir adım girişini takiben çıkışın ilk kez nihai kararlı-durum değerine ulaşması için gereken aralığı ifade eder; bu genellikle kararlı durum değerinin %95'ine ulaşmak için geçen süre olarak ölçülür-. Diğer performans özellikleri arasında tekrarlanabilirlik, doğrusallık, histerezis, ölü bölge ve sapma yer alır.
